技術編號：6134239
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本申請與1996年1月5日提交的第60/009637號美國臨時申請有關。該申請的權益被轉讓給本受讓人以提出本申請。本發(fā)明總體上涉及一種辨別平整和不平整表面，尤其是利用陰影莫阿干涉紋技術來分析電學互連元件，比如印刷電路板，的表面特征的系統(tǒng)。印刷電路板和其它電子互連器件的制造是一個產(chǎn)值達數(shù)十億美元的全球性產(chǎn)業(yè)。對于這些產(chǎn)品繼續(xù)進行下一個制造步驟的能力，以及它們最終作為計算機、汽車和其它電子系統(tǒng)的部件運行的可靠性，其平度是個關鍵。但是，在制造過程中，由于電子互連...
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