技術編號：6139583
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于微電子，特別涉及一種用于測量運動體的姿態(tài)的角加速度傳感器。背景技術 目前，對于測量運動體的姿態(tài)，采用的是傳統(tǒng)的速率陀螺儀，速率陀螺儀的工作原理是通過哥氏力來敏感角速率信號。MEMS最廣泛的應用就是設計和制造微型傳感器。使用傳感器的機電部分產生敏感信息，而電子部分則對機電部份產生的信息進行處理。MEMS陀螺就是用于測量角速度的MEMS傳感器。目前，MEMS陀螺的最新技術，如《傳感技術(Journal of TransducerTechnology)...
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