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      用于快速掃描探針顯微術(shù)的閉環(huán)控制器和方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6143404

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      優(yōu)選實(shí)施例涉及用于掃描探針顯微鏡(SPM)的控制器,更具體地,涉及用于使得能夠在保持用于獲得高質(zhì)量樣本數(shù)據(jù)的能力的同時(shí)改進(jìn)掃描速度的SPM的控制器。背景技術(shù)掃描探針顯微鏡(例如原子力顯微鏡(AFM))通過(guò)以下方式來(lái)進(jìn)行操作在測(cè)量樣本的一個(gè)或多個(gè)特性的同時(shí)提供測(cè)量探針與樣本之間的相對(duì)掃描運(yùn)動(dòng)。在圖1中示意性示出了典型的AFM系統(tǒng)。AFM 10使用包括探針14的探針裝置12,該探針14具有懸臂15。在探針_樣本相互作用被測(cè)量的同時(shí),掃描器24產(chǎn)生探針14與樣本...
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