技術(shù)編號：6145881
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是關(guān)于利用光干涉以非接觸地測定薄膜膜厚的。現(xiàn)有技術(shù)利用光干涉的膜厚測定裝置，其用在以非接觸測定膜或片材等薄膜的膜厚分布或膜厚誤差。圖7顯示現(xiàn)有膜厚測定裝置的^f既略構(gòu)成。如圖7所示，現(xiàn)有膜厚測定裝置100,包含光源101、照射用光纖102、接收光線用光纖103、分光計104、及運算部105,以非接觸式進(jìn)行測定膜或片材等待測定對象200膜厚。光源IOI是發(fā)出廣波長區(qū)域的白色光的光源。照射用光纖102是將光源101所發(fā)光的光引導(dǎo)并照射到待測定對象200的...
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