技術(shù)編號(hào)：6149034
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于高純氣體和電子工業(yè)氣體檢測(cè)領(lǐng)域的脈沖氦離子化氣相色譜儀。背景技術(shù)目前國內(nèi)對(duì)于高純氣體和電子工業(yè)氣體還沒有一種可以同時(shí)測(cè)定所有雜質(zhì)的儀器，傳統(tǒng) 的氣相色譜儀配備轉(zhuǎn)化爐加氫火焰離子化檢測(cè)器，雖然靈敏度高，但只能測(cè)定一氧化碳、二 氧化碳和碳?xì)浠衔?。而熱?dǎo)檢測(cè)器能測(cè)定無機(jī)組分但靈敏度又太低。近幾年，也有一些配 有高靈敏度檢測(cè)器的儀器出現(xiàn)，如氧化鋯檢測(cè)器，氬離子檢測(cè)器等，靈敏度雖然很高，但因 為都具有選擇性，只能檢測(cè)某一種氣體或者要和其他分析儀器...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。