技術(shù)編號(hào)：6153667
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及測(cè)量目標(biāo)氣體的濃度的方法，其中提供氣體傳感器， 其傳感器信號(hào)取決于目標(biāo)氣體的濃度。 背景技術(shù)這類方法從DE 43 33 875 C2得知。在此提供氣體傳感器，其具 有硅襯底，其中集成了場(chǎng)效應(yīng)晶體管。所述場(chǎng)效應(yīng)晶體管具有柵電極， 其與傳感器電極導(dǎo)電連接，在所述傳感器電極上方設(shè)置氣體敏感層， 其通過空氣隙與傳感器電極隔開并通過空氣隙在傳感器電極上電容耦 合。將罩電極(Deckelektrode )施加在背對(duì)傳感器電極的氣體敏感層 的背面上。使面對(duì)傳感...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。