技術編號：6155111
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及微位移測量方法，具體涉及一種氣體靜壓導軌氣膜厚度和氣膜剛度的電容式測試方法。背景技術氣體靜壓潤滑是實現(xiàn)超精密測量的核心技術，氣體靜壓導軌由于摩擦力小、運動 平穩(wěn)、精度高、幾乎無熱變形是實現(xiàn)納米級分辨力的首選方案。但近年來的研究發(fā)現(xiàn)，采用 我國傳統(tǒng)方法在空氣靜壓導軌與氣膜相垂直的法線方向進行測量時，有氣膜振動現(xiàn)象，通 ?？蛇_30 50nm的量級。此振動成為制約超精密測量發(fā)展的重要瓶頸。在氣體靜壓潤滑 技術的發(fā)展中，如何有效抑制氣膜振動問題成為國內學...
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