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      一種電容式線性位移測(cè)量的裝置和方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號(hào):6155476

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      本發(fā)明涉及位移測(cè)量技術(shù),特別涉及。 背景技術(shù)現(xiàn)有電容式線性位移測(cè)量的方法可以主要分為增量位移測(cè)量和絕對(duì)位移測(cè)量。增 量位移測(cè)量因其成本較低、工藝簡(jiǎn)單且測(cè)量精度較高得到了廣泛的應(yīng)用,但增量位移測(cè)量 僅能夠獲得相對(duì)位移,在需要獲取絕對(duì)位移時(shí),需要在加電啟動(dòng)時(shí)刻獲取絕對(duì)參考點(diǎn),獲取 絕對(duì)參考點(diǎn)的過程往往需要移動(dòng)讀取單元,使其經(jīng)過參考點(diǎn)位置并記錄該位置信息,這個(gè) 過程比較耗時(shí)且在某些情況下移動(dòng)讀取單元是不允許的。絕對(duì)位移測(cè)量無需獲取參考點(diǎn), 直接獲得絕對(duì)位移量,但...
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