技術(shù)編號：6166219
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及方法提供用于在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)上的裂紋檢測的預(yù)測模型的方法，該半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)是光伏太陽能電池、制造過程中的光伏太陽能電池的前級物，尤其是用于制造太陽能電池的半導(dǎo)體材料，該方法包括以下方法步驟A）提供具有至少一個裂紋的參照半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)；B）提供關(guān)于至少一個裂紋的裂紋數(shù)據(jù)，裂紋數(shù)據(jù)包含與裂紋在參照半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)上的位置有關(guān)的幾何位置數(shù)據(jù)；C）空間分辨式測量在半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)中所產(chǎn)生的光致發(fā)光的多個局部測量點和/或通過空間分辨測量該半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的IR吸收來空間分辨測量該參照半...
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