技術(shù)編號：6170253
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種三軸磁場傳感器、制作磁場感測結(jié)構(gòu)的方法與感測電路。該三軸磁場傳感器，包括具有第一易軸且感測X軸磁場的第一穿隧式磁電阻器；具有第二易軸且感測Y軸磁場的第二穿隧式磁電阻器；感測Z軸磁場的出平面磁場傳感器；及參考單元。第一易軸與第二易軸為垂直，并分別與一平分方向的夾角為45±5度。出平面磁場傳感器包括具有第一斜面與第二斜面的凹槽或凸塊結(jié)構(gòu)；第三穿隧磁式電阻器位在第一斜面且具有第三易軸；第四穿隧式磁電阻器位在第二斜面上且具有第四易軸；一中軸與平分方向垂直且與第...
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