技術(shù)編號：6178594
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種基于達(dá)曼光柵的同步相移干涉裝置，該裝置由激光器，擴(kuò)束準(zhǔn)直單元，分光棱鏡，四象限相位板，合束棱鏡，第一反射鏡，待測物體，達(dá)曼光柵分束整形單元，第二反射鏡，會聚透鏡，探測器陣列，計(jì)算機(jī)構(gòu)成。本發(fā)明大大降低了系統(tǒng)的波像差，對偏振不敏感，因而不存在偏振像差，測量精度高，易于使用。專利說明基于達(dá)曼光柵的同步相移干涉裝置[0001]本發(fā)明涉及光學(xué)干涉計(jì)量測試領(lǐng)域，特別是一種基于達(dá)曼光柵的同步相移干涉裝置。背景技術(shù)[0002]達(dá)曼光柵是一種典型的衍射光學(xué)元件，具有等...
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