技術(shù)編號(hào):6183143
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種基于MEMS技術(shù)的接觸式四電極鹽度傳感器,包含石英基片襯底、Si3N4粘附層和鉑金屬電極,所述Si3N4粘附層位于石英基片底襯的上表面,所述鉑金屬電極位于Si3N4粘附層之上;所述鉑金屬電極包含接觸區(qū)、電導(dǎo)率感應(yīng)電極和溫度感應(yīng)電極;所述基于MEMS技術(shù)的接觸式四電極鹽度傳感器的正面和背面還各包含一層Si3N4保護(hù)層,正面Si3N4保護(hù)層刻蝕出窗口,露出電導(dǎo)率感應(yīng)電極和溫度感應(yīng)電極。本發(fā)明還公開了一種基于MEMS技術(shù)的接觸式四電極鹽度傳感器的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。