技術(shù)編號：6184445
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種光柵莫爾條紋細(xì)分方法和裝置，屬于光柵位移測量領(lǐng)域。光柵傳感器具有量程大、適應(yīng)環(huán)境能力強、成本低等優(yōu)勢，廣泛應(yīng)用在精密位移測量、數(shù)顯數(shù)控、大行程精密定位、精密加工和微電子等行業(yè)中。目前各行業(yè)對光柵位移測量提出了大量程納米級等更高要求。當(dāng)光柵傳感器運行時，光柵傳感器的輸出波形非常復(fù)雜。光柵傳感器在測量過程不一定是勻速運行，特別是啟動、停止和換向的過程中，信號具有隨機性。根據(jù)光柵信號的隨機性提出了小波細(xì)分法，對光柵輸出的四路莫爾條紋信號進(jìn)行高速高...
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