技術(shù)編號：6186136
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種CMOSMEMS電容式濕度傳感器，其特征是包括叉指狀的上電極和叉指狀的下電極，下電極穿過SiO2氧化層設(shè)置在硅基底的同一表面上，上電極位于下電極的上方，在上電極和下電極之間、上電極的叉指之間、下電極的叉指之間填充濕度敏感介質(zhì)；在所述上電極的上方設(shè)置鋁條，鋁條位于上電極、下電極的叉指之間，在鋁條和上電極之間填充濕度敏感介質(zhì)；在所述上電極和下電極正下方的硅基底上形成空腔，使下電極以及下電極叉指間的濕度敏感介質(zhì)直接與空氣接觸。所述上電極的叉指與下電...
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