技術(shù)編號:6192983
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型公開了一種DES檢驗平臺,包括臺體、臺面、清潔裝置和線寬線距測量裝置;所述臺面設(shè)置在臺體正面;所述清潔裝置活動的貼合臺面;所述線寬線距測量裝置安裝在臺面的一側(cè);本實用新型的DES檢驗平臺整體性好,操作人員可以流水線作業(yè);可以在一個平臺上實現(xiàn)所有檢測目的,完成結(jié)果登記,使用簡單、效率高。專利說明—種DES檢驗平臺[0001 ] 本實用新型具體涉及一種DES檢驗平臺。背景技術(shù)[0002]DES檢驗是蝕刻作業(yè)中的一道重要的工序,必須經(jīng)過DES檢驗才能進...
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