技術(shù)編號(hào)：6196975
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種面向自由面的超精密納米壓痕劃痕加工系統(tǒng)，屬于光機(jī)電一體化的精密科學(xué)儀器領(lǐng)域。六自由度自適應(yīng)式方位調(diào)節(jié)精密定位的載物臺(tái)通過底架固定在環(huán)境倉上，Z軸方向的壓電陶瓷精密進(jìn)給單元和Z軸方向的滾珠絲杠粗進(jìn)給傳動(dòng)機(jī)構(gòu)均與螺母座相連，載荷信號(hào)檢測(cè)單元固定在柔性鉸鏈與金剛石壓頭夾持單元之間；位移信號(hào)檢測(cè)單元均布于柔性鉸鏈上，壓頭夾持單元固定在柔性鉸鏈上，Z軸方向進(jìn)給機(jī)構(gòu)固定于環(huán)境倉上。優(yōu)點(diǎn)在于保證了材料加工的穩(wěn)定性與精確性，對(duì)材料科學(xué)、微電子技術(shù)、生物醫(yī)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。