技術(shù)編號：6199364
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種平面度測量設(shè)備，更具體的說是涉及一種非接觸式對平面度高精度測量的設(shè)備。背景技術(shù)有許多電子產(chǎn)品的表面都需要進(jìn)行平面度檢測，現(xiàn)有技術(shù)的平面度檢測都使用平面度檢測儀對產(chǎn)品表面進(jìn)行測量，將被測實(shí)際表面與理想平面進(jìn)行比較，兩者之間的線值距離即為平面度誤差值；或通過測量實(shí)際表面上若干點(diǎn)的相對高度差，再換算以線值表示的平面度誤差值。這種平面度檢測儀檢測需要接觸產(chǎn)品表面，需要重復(fù)性量測，這樣數(shù)據(jù)的真實(shí)性不能保證，測量精度低，量測范圍受限，從而增加了生產(chǎn)成本發(fā)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。