技術(shù)編號：6213586
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明的目的在于提供在帶電粒子線裝置的真空室內(nèi)不使用氣相沉積法等而進行布線加工的布線方法及帶電粒子線裝置。為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供如下的布線方法及帶電粒子線裝置，即，向試樣上滴下離子液體或預(yù)先在載置試樣的試樣臺上準(zhǔn)備離子液體，向布線加工起點與布線加工終點之間的布線軌道上照射帶電粒子線而形成由離子液體構(gòu)成的布線。根據(jù)這樣的結(jié)構(gòu)，能不使用氣相沉積法等而在帶電粒子線裝置的真空室內(nèi)進行布線加工。專利說明 [0001] 本發(fā)明涉及，特別涉及使用離子液體的布...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。