技術(shù)編號(hào)：6218601
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種靜電驅(qū)動(dòng)式參數(shù)激勵(lì)的微機(jī)械固體波動(dòng)盤形陀螺儀，包括一個(gè)圓盤形基體、四個(gè)非交叉梳齒靜電驅(qū)動(dòng)電極、四個(gè)交叉梳齒平行板檢測(cè)電極和八個(gè)U型梁，其中四個(gè)驅(qū)動(dòng)電極和四個(gè)檢測(cè)電極分別沿圓盤形基體外環(huán)邊緣均勻交替配置，四個(gè)驅(qū)動(dòng)電極和四個(gè)檢測(cè)電極的末端均設(shè)有一個(gè)起固定支撐作用的U型梁。本發(fā)明利用參數(shù)激勵(lì)的方式驅(qū)動(dòng)圓盤形基體工作，其驅(qū)動(dòng)模態(tài)和檢測(cè)模態(tài)互相匹配。本發(fā)明采用MEMS體硅加工工藝制作。本發(fā)明驅(qū)動(dòng)頻率是陀螺儀固有頻率的兩倍，所以產(chǎn)生的寄生信號(hào)不會(huì)對(duì)檢測(cè)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。