技術(shù)編號：6219227
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及晶體硅太陽能電池測試領(lǐng)域，特別涉及一種太陽能電池多功能接觸電阻自動測量儀，還涉及由該測量儀組成的測量系統(tǒng)，能夠自動測量太陽電池表面柵線接觸電阻、方塊電阻和面掃描測量硅片表面方塊電阻及電阻率。背景技術(shù)晶體硅太陽能電池的表面金屬歐姆接觸的好壞通過接觸電阻來反映。在太陽能電池電極優(yōu)化中，接觸電阻是需要考量的一個重要方面。接觸電阻的大小不僅與接觸的圖形有關(guān)，還與擴散工藝及接觸形成工藝有關(guān)。不同柵線圖形的歐姆接觸好壞可以通過接觸電阻率的大小來反映。因此，通...
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