技術(shù)編號：6223374
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供了一種，其中，所述晶圓缺陷的檢測裝置包括真空密閉容器、平行光源、光敏元件和信號處理器；其中，所述光敏元件面對所述平行光源，用于感測所述平行光源發(fā)出的光信號，所述平行光源和所述光敏元件均設(shè)置于所述真空密閉容器的內(nèi)部，所述信號處理器的輸入端與所述光敏元件連接。在本發(fā)明提供的中，采用平行光源照射待測晶圓使得光線在經(jīng)過所述待測晶圓的缺口時產(chǎn)生衍射光，并通過所述光敏元件感測衍射光，從而實現(xiàn)所述缺口的檢測。專利說明[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別涉...
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