技術(shù)編號(hào)：6223454
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種基于熱膨脹流的MEMS三軸陀螺及其加工方法，屬于慣性測(cè)量領(lǐng)域。該陀螺主要包括上密封層、下基底層、中間檢測(cè)層；所述中間檢測(cè)層上有“十”字檢測(cè)腔及位于檢測(cè)腔內(nèi)的金屬電阻橋加熱元件和金屬電阻橋熱敏元件。本發(fā)明提出的基于熱膨脹流的MEMS陀螺，采用階梯結(jié)構(gòu)的檢測(cè)層、“十”字型檢測(cè)腔以及懸空的金屬電阻橋，可實(shí)現(xiàn)空間三軸角速度的同時(shí)測(cè)量，具有很高的集成度，并且可消除Z軸加速度輸入對(duì)角速度信號(hào)測(cè)量的干擾，因此實(shí)現(xiàn)了基于熱膨脹流的MEMS陀螺的多自由度測(cè)量...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。