技術(shù)編號(hào)：6224722
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了，采用數(shù)字微鏡器構(gòu)建移動(dòng)的線光束，并將該移動(dòng)的線光束照射在被測(cè)物表面并由該被測(cè)物表面反射后，由CCD圖像傳感器接收，完成對(duì)被測(cè)物表面的掃描和快速提取。本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)對(duì)復(fù)雜形貌被測(cè)物的表面形貌的快速精密測(cè)量。專利說明[0001]本發(fā)明涉及三維形貌檢測(cè)，特別涉及。背景技術(shù)[0002]隨著精密加工技術(shù)的飛速發(fā)展，精密檢測(cè)技術(shù)所面臨的挑戰(zhàn)日益嚴(yán)峻，以表面測(cè)量為代表的現(xiàn)代精密測(cè)量技術(shù)也受到了越來越多的關(guān)注?，F(xiàn)有的表面形貌測(cè)量方法有很多，主要包括觸針法、共...
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