技術編號：6225584
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開了一種隧道式MEMS陀螺儀，屬于微機電系統(tǒng)。本發(fā)明提供的隧道式MEMS陀螺儀包括一塊正16邊形的薄板作為敏感質量鍵合在玻璃襯底上，正16邊型的每一條邊對應1個電極，16個電極分為4組，分別作為驅動電極、調節(jié)電極、反饋電極和用于產生隧穿電流的楔形錐尖，所述錐尖電極設置在可動梳上；本發(fā)明提出了一種全新的結構，采用對稱多邊形質量塊，反饋電極和調節(jié)電極有利于實現(xiàn)驅動模態(tài)頻率和檢測模態(tài)頻率的匹配，實現(xiàn)較高靈敏度；同時，采用可動梳控制錐尖和質量塊間的間距，采...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。