技術(shù)編號(hào)：6225792
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及，包括以具有金屬表面的布拉格光纖光柵傳感器為陰極進(jìn)行電沉積過程；獲得隨電沉積時(shí)間T變化的所述布拉格光纖光柵傳感器的中心波長(zhǎng)的偏移量；獲得隨電沉積鍍層厚度d變化的所述布拉格光纖光柵傳感器的應(yīng)力靈敏度；將所述布拉格光纖光柵傳感器的中心波長(zhǎng)的偏移量乘以所述布拉格光纖光柵傳感器的應(yīng)力靈敏度的倒數(shù)即得電沉積應(yīng)力。本發(fā)明的測(cè)試方法簡(jiǎn)單、精度高、適于實(shí)時(shí)在線測(cè)試、可用于電沉積多層薄膜及對(duì)稱結(jié)構(gòu)薄膜時(shí)的應(yīng)力測(cè)試，且尤其適合在圓柱形器件上電沉積薄膜時(shí)的應(yīng)力測(cè)試。專...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。