技術(shù)編號(hào)：6233335
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供電連接裝置。其以簡(jiǎn)單的裝置結(jié)構(gòu)縮短到開始測(cè)量為止的時(shí)間。其包括探針卡(19)和彈性熱傳導(dǎo)構(gòu)件(18h)，該探針卡具有形成有用于與電路檢驗(yàn)器(11)電連接的布線路(18e)的探針基板(18)及能分別與吸盤頂部(21)上的半導(dǎo)體晶圓(28)的多個(gè)連接焊盤(28a)中的各連接焊盤接觸的多個(gè)探針(18a)，該探針卡能相對(duì)于吸盤頂部移動(dòng)，該彈性熱傳導(dǎo)構(gòu)件配置在吸盤頂部的工作面與探針基板之間或工作面上的半導(dǎo)體晶圓與探針基板之間。彈性熱傳導(dǎo)構(gòu)件能在多個(gè)探針與所...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。