技術(shù)編號：6241056
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及側(cè)通氣壓力傳感器裝置。半導(dǎo)體傳感器裝置具有被安裝到襯底的壓力感測管芯和至少另一個(gè)管芯，以及互連了所述壓力感測管芯和所述至少另一個(gè)管芯的電互連。所述壓力感測管芯的有源區(qū)域被一種壓敏凝膠材料覆蓋，并且具有腔的蓋子被安裝到所述壓力感測管芯，以便所述壓力感測管芯被放置在所述腔內(nèi)。所述蓋子具有將所述壓力感測管芯的覆蓋凝膠的有源區(qū)域暴露在所述傳感器裝置之外的周圍大氣壓的側(cè)通氣孔。位于所述襯底的上表面上的模填料封裝了所述至少另一個(gè)管芯和所述蓋子的至少一部分。專...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。