技術(shù)編號(hào)：6241539
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種，包含如下步驟選取失效器件進(jìn)行電學(xué)測(cè)試，多次掃描測(cè)量其電壓-電流曲線，觀察多次掃描得到的電壓-電流曲線有無逐漸變大或變小的情況；對(duì)失效器件進(jìn)行烘烤，重新多次測(cè)量其電壓-電流曲線，觀察有無逐漸變大或變小的情況；對(duì)于確定電壓-電流曲線發(fā)生變化的器件，進(jìn)行微光顯微鏡定位，進(jìn)一步縮小位錯(cuò)的范圍；將器件進(jìn)行研磨，用聚焦離子束進(jìn)行切割，物理解析制樣形成透射電子顯微鏡樣品；采用常規(guī)透射電子顯微鏡觀察方式進(jìn)行位錯(cuò)觀察，獲得位錯(cuò)像。上述方法通過電學(xué)分析到物理...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。