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      臺階表面高度測量的單光柵干涉儀及臺階表面高度測量方法技術(shù)資料下載

      技術(shù)編號:6245247

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      本發(fā)明涉及測繪領(lǐng)域,特別是涉及。針對目前臺階表面高度測量中測量結(jié)果容易受到光源波長干擾,造成測量結(jié)果系統(tǒng)誤差大、隨機誤差大、精度低、準確度低的問題,提供一種全新的測量裝置及方法。為了實現(xiàn)這一發(fā)明目的,我們公開了一種臺階表面高度測量的單光柵干涉儀,包括激光光源、三個透鏡、一個平面光柵、一個帶有兩個針孔的光闌、一個圖像傳感器、一個正弦振動揚聲器;采用本發(fā)明所公開的測量方法,無需考慮光源波長等因素,系統(tǒng)誤差小、隨機誤差小,測量結(jié)果準確度高、精度高。專利說明臺階表...
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