技術(shù)編號(hào)：6246516
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種基于單個(gè)加熱元件的甲烷傳感器及制備方法和應(yīng)用，適用于工礦企業(yè)中使用。該甲烷傳感器包括加熱元件、測(cè)量元件、環(huán)境溫度測(cè)量元件。該甲烷傳感器的加熱元件的加熱器和測(cè)量元件的測(cè)量構(gòu)件通過支撐臂懸置于空氣中，加熱元件單獨(dú)加熱到高溫工作狀態(tài)，測(cè)量元件單獨(dú)用于檢測(cè)瓦斯氣體濃度，環(huán)境溫度測(cè)量元件檢測(cè)片上溫度用于溫度補(bǔ)償。該甲烷傳感器加工工藝與CMOS工藝兼容。該傳感器的優(yōu)點(diǎn)為結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、功耗低、靈敏度高、抗干擾性好、成本低。專利說明一種基于單個(gè)加熱元件的甲烷傳感器及制備方...
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