技術(shù)編號(hào):6252243
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種可進(jìn)行熱化學(xué)氣相沉積的原位測(cè)試平臺(tái),包括高溫?zé)崤_(tái)反應(yīng)腔體,其包括熱臺(tái)底座以及真空外罩,該真空外罩包括框架主體以及緊密安裝在該框架主體上的入射窗片和出射窗片;陶瓷加熱臺(tái),安裝在熱臺(tái)底座上以承載一樣品;溫度控制系統(tǒng),用以實(shí)時(shí)調(diào)節(jié)陶瓷加熱臺(tái)的溫度;真空系統(tǒng),用以對(duì)高溫?zé)崤_(tái)反應(yīng)腔體內(nèi)抽真空;反應(yīng)氣體混氣系統(tǒng),用以為高溫?zé)崤_(tái)反應(yīng)腔體內(nèi)提供熱化學(xué)氣相沉積所需的氣源;以及真空測(cè)量系統(tǒng),用以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)高溫?zé)崤_(tái)反應(yīng)腔體內(nèi)的氣體壓強(qiáng)。本發(fā)明可以透過(guò)x射線,又可在線...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。