技術編號：6270653
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本實用新型涉及硅化鈣制備加熱系統(tǒng)，尤其涉及硅化鈣制備加熱系統(tǒng)的模擬閉環(huán)式溫度補償裝置。背景技術微電子產業(yè)的不斷發(fā)展，給人類的生活帶來了翻天覆地的變化，人類在盡情享受著高科技成果的同時，逐漸地認識到一些不和諧現(xiàn)象的存在能源問 題，環(huán)境污染等等。微電子產業(yè)中最常用的一些元素大部分來自于ΠΙ - V族或I1-VI族，不僅有毒，而且在地球上的資源貯量十分有限。材料是社會經濟發(fā)展的物質基礎，推動著人類文明的進步。未來，人類要創(chuàng)造一個資源循環(huán)、環(huán)境共生型社會，如果使用...
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