技術(shù)編號:6274950
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及醫(yī)療用品,尤其涉及一種輸液膜厚度測控裝置。 背景技術(shù)輸液膜厚度是輸液膜研究和工業(yè)應(yīng)用中的一個重要參數(shù)。輸液膜的電阻率、電阻溫度系數(shù)、磁阻、霍爾系數(shù)、熱電系數(shù)、光學(xué)反射率、趨膚效應(yīng)等參數(shù)均與輸液膜厚度有密切的關(guān)系,測量這些參數(shù)必須知道輸液膜的厚度。而且,人們在設(shè)計具有一定功髓的輸液膜時,對其厚度往往有比較嚴(yán)格的要求,這就需要在輸液膜沉積過程中對膜厚進(jìn)行實時的監(jiān)控。在真空系統(tǒng)中輸液膜沉積時對膜厚進(jìn)行實時監(jiān)測的方法常用的主要有石英晶體振蕩法、光學(xué)法、反...
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