技術(shù)編號：6278962
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明總體上涉及半導(dǎo)體制造設(shè)備，具體涉及用于向半導(dǎo)體工藝室精確輸送定量的工藝氣體的系統(tǒng)和方法。更具體地，本發(fā)明涉及一種系統(tǒng)和方法，該系統(tǒng)和方法用于將單一的工藝氣流分成兩個或更多所需比例的氣流，其中，原位工藝監(jiān)視器被用于提供對由每個氣流產(chǎn)生的處理結(jié)果的實時監(jiān)測，并且如果由每個氣流產(chǎn)生的處理結(jié)果是不等的，那么該系統(tǒng)和方法實時地調(diào)整氣流的比例，用以獲得所需的處理結(jié)果。背景技術(shù) 半導(dǎo)體器件的制造或制作通常需要對向工藝室輸送的多種氣體進(jìn)行嚴(yán)格的同步和精確的測量。各種...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。