技術編號：6285853
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。用于真空處理系統(tǒng)的壓力控制用于處理工具(例如半導體處理工具)的壓力控制器通常執(zhí)行在 工具的一個或多個真空室中的壓力控制，以響應于實際的壓力的測量結果。 目前，模擬通信鏈路被用作在這些壓力控制器與壓力傳感器之間進行壓力 信號通信，其中該壓力傳感器實際上執(zhí)行壓力測量。在模擬通信鏈路被用作傳輸壓力信號時，在模擬信號的接收端處 需要濾波。這減少了系統(tǒng)的帶寬，其繼而會限制壓力控制的性能，特別地 在具有快速時間常數(shù)的真空系統(tǒng)中。在壓力控制系統(tǒng)中的壓力傳感器與壓 力控制...
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