技術編號：6293753
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明公開一種多路水冷溫度控制系統(tǒng)，用于精確控制多個被控對象的溫度，其特征在于，該多路水冷溫度控制系統(tǒng)包括溫度控制單元、分流器、支路水溫調(diào)節(jié)裝置、集流器、水冷溫度傳感器、對象溫度傳感器、測量模塊、以及控制模塊。與現(xiàn)有技術相比較，本發(fā)明所提供的多路水冷系統(tǒng)，不需要使用多個溫度控制單元裝置，且該系統(tǒng)的結(jié)構簡潔，可實現(xiàn)應用于多個對象且各個對象有不同溫度循環(huán)液要求的應用場合。專利說明[0001]本發(fā)明涉及一種溫度控制設備，尤其涉及。背景技術[0002]在半導體行業(yè)...
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