技術編號：6297652
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種利用自身電容變化作為位移反潰的壓電陶瓷致動器，屬于精密運動控制領域。本發(fā)明包括壓電陶瓷微位移致動器、驅(qū)動模塊、位移指令輸出模塊、電容信號采集模塊、閉環(huán)控制模塊。本發(fā)明利用壓電陶瓷微位移致動器本身的電容變化作為監(jiān)測驅(qū)動元件的位移變化，使驅(qū)動元件與位移反饋元件集于一體，規(guī)避了傳統(tǒng)技術必須增加外置位移傳感器的技術壁壘，在簡化了機構(gòu)復雜度的同時，還解決了由于需要接觸安裝傳感器產(chǎn)生致動器安全性差的技術難點。專利說明—種利用自身電容變化作為位移反潰的壓電...
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