技術(shù)編號(hào):6304891
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明一般地涉及包括流水線系統(tǒng)(track system)和掃描儀系統(tǒng)(scanner system)的半導(dǎo)體晶圓制備系統(tǒng),更具體地涉及由于掃描儀系統(tǒng)中偏離額定計(jì)時(shí)而對(duì)這種晶圓制備系統(tǒng)進(jìn)行補(bǔ)償。背景技術(shù) 現(xiàn)代集成電路(IC)是在加工廠大量生產(chǎn)的半導(dǎo)體晶圓(wafer)上制造的。加工廠采用各種類型的自動(dòng)設(shè)備,這些設(shè)備必須能夠獲得非常正確并且仔細(xì)控制的操作參數(shù)。圖1描繪了通用制造系統(tǒng)10中的某些工藝步驟或模塊。系統(tǒng)10可被看作是包括了各種生產(chǎn)模塊的流水線系統(tǒng)2...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。