技術(shù)編號：6326792
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及電子裝置的制造，更具體地涉及提高電子裝置制造系統(tǒng)的效率的系統(tǒng)和方法。背景技術(shù)輔助生產(chǎn)層(sub-fab)裝備不具有用于能源消耗和/或能源節(jié)約的監(jiān)測數(shù)據(jù)。發(fā)明人相信美國和全世界的法規(guī)會最終將要求使用者報告由工具以及整個工廠的基線(baseline)CO2和全球溫室氣體(GWG)的排放。發(fā)明人還相信半導(dǎo)體代工廠(fab)的擁有者和/或經(jīng)營者會希望收集這樣的數(shù)據(jù)以供內(nèi)部使用。例如，目前用于在工具層面精確地測量實(shí)時工廠化學(xué)物排放的工業(yè)范例是非常昂貴耗時的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。