技術編號：6423442
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及，且更特別地，涉及如下的其中，用激光束照射經(jīng)由光穿透路徑下落(fall down)的小電子元件，并探測由小電子元件散射的光，以計數(shù)小電子元件。背景技術通常，在用于制造諸如多層陶瓷電容器(MLCC)、芯片等的小電子元件的工序中，為了應對(manage)在工序之間遺漏小電子元件，對這些小電子元件的個數(shù)進行計數(shù)。作為一種用于計數(shù)批量生產(chǎn)的且具有小尺寸的芯片的個數(shù)的方法，對于有些元件，例如對于具有0.6X0. 3或更大的尺寸的產(chǎn)品，已使用測量通過取樣的產(chǎn)...
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