技術編號：6552426
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。公開了一種控制微機電系統(tǒng)（MEMS）器件中的暴露的玻璃充電的方法。該方法包括提供包括遠離至少一個感測板和至少一個外部金屬化層定位的質量塊的MEMS器件，其中至少一個導電玻璃層耦合到感測板和外部金屬化層，導電玻璃層包括靠近質量塊的至少一個暴露的玻璃部分；以及將第一電壓應用到感測板并且將第二電壓應用到外部金屬化層。第一電壓通過預確定的電壓水平從第二電壓分離，使得暴露的玻璃部分具有對應于第一電壓與第二電壓之間的電壓中值的平均電壓。專利說明減小MEMS器件中的玻璃...
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