技術(shù)編號：6615485
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及由多晶硅膜或非晶體硅膜那樣的薄膜光電吸收材料形成的光電變換元件、圖像傳感器、太陽能電池、x射線平板傳感器(X-ray flat panel sensor)等的固體攝像元件或檢測器，和搭栽它們 的例如液晶顯示器、生物體認(rèn)證裝置、太陽光發(fā)電系統(tǒng)、X射線攝像 系統(tǒng)、數(shù)字照相機(jī)那樣的裝置。背景技術(shù)至今在可見光檢測器中，主要用晶體硅，但是近年來，廣泛地利 用使用非晶體硅或多晶硅的薄膜傳感器。非晶體硅膜在除了光檢測器外，也可用于太陽能電池或X射線 平板傳感器...
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