技術(shù)編號:6697540
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明屬于光學粒子計數(shù)器的領(lǐng)域。本發(fā)明總體涉及用于驗證光學粒子計數(shù)器的 校準狀態(tài)和性能的校準驗證系統(tǒng)(calibration verification system)以及方法。背景技術(shù)大部分微污染(micro-contamination)行業(yè)都依賴于使用光學粒子計數(shù)器,所述 光學粒子計數(shù)器諸如在大量美國專利中所描述的光學粒子計數(shù)器,所述美國專利包括美國 專利 No. 3,851,169,4, 348,111,4, 957,363,5, 085,500,5,...
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