技術(shù)編號：6703003
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本實用新型涉及用于半導(dǎo)體工藝的擴散爐，尤其是涉及擴散爐有害氣體監(jiān)護裝置。背景技術(shù)擴散爐是半導(dǎo)體工藝的一種重要設(shè)備，主要用于摻雜工藝，特別在晶體硅太陽能電池生產(chǎn)中，擴散爐是唯一的摻雜設(shè)備，是制造工藝中對PN結(jié)的生成、轉(zhuǎn)換效率的提高起決定性的關(guān)鍵設(shè)備?，F(xiàn)在的擴散爐大多做磷擴散，把N2通入到源瓶中，鼓泡攜帶源瓶中的POCl3 (三氯氧磷)進入工藝管中，高溫狀態(tài)裂變產(chǎn)生磷。為了很好地控制隊攜帶POCl3W量，通常把裝載POCl3的源瓶置放在恒溫水槽中，源瓶一般由石...
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