技術編號：6759969
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種，屬于微電子制造及存儲器技術 領域。背景技術目前國際上興起了研究新一代存儲器的熱潮，各種新一代的存儲器種類繁多，機 制各異，具體哪種能夠得到集成電路制造廠商和消費者的青睞尚不明確。但是有一點是可 以肯定的，在保證性能的前提下，提高存儲密度使得存儲每位數(shù)據(jù)的成本越低就越有市場 競爭力，這在很大程度上決定著新一代存儲器能否最終被采用。一般而言，提高存儲器的密 度有兩種有效的方式第一是通過工藝或者器件結構設計來減小單元面積的尺寸，采用交 叉陣列結構...
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