技術編號：6784632
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種含釕的薄膜，包括通過化學蒸氣沉積法(以下簡稱CVD)制成的釕薄膜和釕的氧化物薄膜(以下通稱為釕薄膜)，在CVD中以含釕化合物作為釕原料。本發(fā)明還涉及生產(chǎn)這種薄膜的方法。更加具體的，本發(fā)明涉及應用一種特殊的有機釕配合物，β-二酮基釕，作為釕原料，采用CVD法制成的釕薄膜，以及生產(chǎn)這種釕薄膜的方法。釕薄膜包括金屬釕薄膜和釕的氧化物薄膜，它可以應用于包含鐵電的和高度介電物質的薄膜電容器的電容器電極，而這些電極可用來制造諸如DRAM和FeRAM等存儲...
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