技術(shù)編號：6784859
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及作為耐熱性樹脂前體的聚酰胺、以及含有該聚酰胺且具有感光性的樹脂組合物、由該樹脂組合物構(gòu)成的固化凹凸(relief)圖案的形成方法、以及具有該固化凹凸圖案的半導體裝置及其制造方法。更詳細地說，本發(fā)明涉及一種提供聚酰胺酰亞胺樹脂的前體聚酰胺，所述聚酰胺酰亞胺具有高耐熱性，適合用于電子部件的絕緣材料、半導體裝置中的表面保護膜、層間絕緣膜以及α線截止膜等用途。背景技術(shù) 以往，在電子部件的絕緣材料、半導體裝置的表面保護膜、層間絕緣膜以及α線截止膜等中廣泛使...
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