技術(shù)編號：6785973
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及一種石英舟，尤其涉及一種擴(kuò)散石英舟。背景技術(shù)太陽能電池?cái)U(kuò)散是電池片制作中的核心工序，主要目的是形成PN結(jié)使得電子和空穴分離，高質(zhì)量，高均勻性的PN結(jié)是生產(chǎn)高效電池的基礎(chǔ)。目前我們所使用的傳統(tǒng)石英舟，由于溫度和氣流分布不均勻，因此擴(kuò)散方阻的均勻性不是很好，可調(diào)空間也不大，工藝氣體從尾部進(jìn)入爐內(nèi)，氣流垂直于硅片表面，工藝氣體沿著硅片周邊流向爐口，工藝氣體較難到達(dá)硅片與硅片之間，硅片中心區(qū)域氣體密度低于硅片四邊，從而導(dǎo)致硅片中間方阻大于四邊的方阻，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。