技術(shù)編號：6788281
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種鉑薄膜電阻溫度傳感器中的鉑薄膜制造方法。線繞鉑電阻溫度傳感器廣泛應(yīng)用于溫度測量與控制中，世界年消耗量近千萬只。然而，由于鉑稀貴，多年來各國紛紛致力于鉑薄膜電阻溫度傳感器的研制，以減少鉑的消耗，降低成本。制造鉑薄膜溫度傳感器主要是在陶瓷或其它基片上濺射鉑薄膜，然后刻出柵狀圖形，引出電極，做成電阻器。其關(guān)鍵工藝是在基片上濺射鉑膜，并使鉑薄膜的電阻溫度系數(shù)(TCR)達(dá)到3.850×10-3Ω/Ω℃，使溫度傳感器的靈敏度W100達(dá)到IEC751標(biāo)準(zhǔn)(...
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