技術(shù)編號:6792019
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微電子封裝,具體涉及。背景技術(shù)隨著人們對電子產(chǎn)品的要求向小型化、多功能、環(huán)保型等方向的發(fā)展,人們努力尋求將電子系統(tǒng)越做越小,集成度越來越高,功能越做越多、越來越強(qiáng)。三維封裝技術(shù),是指在不改變封裝體尺寸的前提下,在同一個(gè)封裝體內(nèi)于垂直方向疊放兩個(gè)以上芯片的封裝技術(shù)。而娃穿孔(Through Silicon Via簡稱TSV,娃通孔)是實(shí)現(xiàn)三維封裝中的關(guān)鍵技術(shù)之一。這歸因于硅通孔相對于傳統(tǒng)的互連方式可實(shí)現(xiàn)全硅封裝,與半導(dǎo)體CMOS工藝相兼容,且可等比...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識儲(chǔ)備,不適合論文引用。